激光位移传感器有哪些

激光位移传感器有哪些

激光位移传感器是一种高精度测量设备，主要用于测量物体的位移或变形。下面介绍几种常见的激光位移传感器。

1. 差动式激光位移传感器

差动式激光位移传感器是一种利用两束激光在不同位置照射同一物体，通过测量两束激光的位移差来计算物体位移的传感器。该传感器具有高精度和高灵敏度等优点，广泛应用于机械加工、精密制造等领域。

2. 直接式激光位移传感器

直接式激光位移传感器是一种采用单束激光直接照射测量物体，通过测量激光反射时间或反射光强来计算物体位移的传感器。该传感器具有响应速度快、精度高等优点，广泛应用于机器人控制、自动化生产线等领域。

3. 干涉式激光位移传感器

干涉式激光位移传感器是一种利用激光干涉原理来测量物体位移的传感器。该传感器通过将激光分成两束，一束照射在参考镜面上，另一束照射在测量物体上，测量参考镜面和测量物体之间的相对位移来计算物体位移。该传感器具有极高的精度和稳定性，广泛应用于航空航天、半导体制造等高精度领域。

4. 三角法激光位移传感器

三角法激光位移传感器是一种利用三角函数关系来计算物体位移的传感器。该传感器通过将激光分成两束，一束照射在物体上，另一束垂直于物体照射在光电探测器上，通过测量两束光线之间的夹角和物体与激光发射器之间的距离来计算物体位移。该传感器具有简单、易用等优点，广泛应用于测量、检测等领域。